აზოტის ტრიფტორიდი (NF3) მაღალი სისუფთავის გაზი
ძირითადი ინფორმაცია
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
რა არის ეს მასალა?
აზოტის ტრიფტორიდი (NF3) არის უფერო და უსუნო აირი ოთახის ტემპერატურაზე და ატმოსფერულ წნევაზე. მისი გათხევადება შესაძლებელია ზომიერი წნევის ქვეშ. NF3 სტაბილურია ნორმალურ პირობებში და ადვილად არ იშლება. თუმცა, მას შეუძლია დაიშალა მაღალი ტემპერატურის ზემოქმედების ან გარკვეული კატალიზატორების თანდასწრებით. NF3-ს აქვს მაღალი გლობალური დათბობის პოტენციალი (GWP) ატმოსფეროში გამოყოფისას.
სად გამოვიყენოთ ეს მასალა?
საწმენდი საშუალება ელექტრონიკის ინდუსტრიაში: NF3 ფართოდ გამოიყენება, როგორც გამწმენდი საშუალება ნარჩენი დამაბინძურებლების მოსაშორებლად, როგორიცაა ოქსიდები, ნახევარგამტარების, პლაზმური დისპლეის პანელებიდან (PDP) და სხვა ელექტრონული კომპონენტების ზედაპირებიდან. მას შეუძლია ეფექტურად გაწმინდოს ეს ზედაპირები მათი დაზიანების გარეშე.
დაფქვის გაზი ნახევარგამტარების წარმოებაში: NF3 გამოიყენება როგორც აირების გაზი ნახევარგამტარების წარმოების პროცესში. ის განსაკუთრებით ეფექტურია სილიციუმის დიოქსიდის (SiO2) და სილიციუმის ნიტრიდის (Si3N4) ამოღებისას, რომლებიც გავრცელებული მასალებია, რომლებიც გამოიყენება ინტეგრირებული სქემების წარმოებაში.
მაღალი სისუფთავის ფტორის ნაერთების წარმოება: NF3 არის ფტორის ღირებული წყარო სხვადასხვა ფტორის შემცველი ნაერთების წარმოებისთვის. იგი გამოიყენება როგორც წინამორბედი ფტორპოლიმერების, ფტორნახშირბადის და სპეციალური ქიმიკატების წარმოებაში.
პლაზმის გენერაცია ბრტყელი პანელის დისპლეის წარმოებაში: NF3 გამოიყენება სხვა გაზებთან ერთად პლაზმის შესაქმნელად ბრტყელი პანელის ჩვენების წარმოებაში, როგორიცაა თხევადი კრისტალური დისპლეები (LCD) და PDP. პლაზმა აუცილებელია პანელის დამზადების დროს დეპონირებისა და ჭრის პროცესებში.
გაითვალისწინეთ, რომ ამ მასალის/პროდუქტის გამოყენების კონკრეტული აპლიკაციები და რეგულაციები შეიძლება განსხვავდებოდეს ქვეყნის, ინდუსტრიისა და დანიშნულების მიხედვით. ყოველთვის დაიცავით უსაფრთხოების მითითებები და გაიარეთ კონსულტაცია ექსპერტთან ამ მასალის/პროდუქტის გამოყენებამდე ნებისმიერ აპლიკაციაში.
